同壁财经讯，10月20日晚，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（证券简称：中科仪，证券代码：920186）披露《对外投资的公告》。公司拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目，项目投资规模42313.48万元，旨在提升干式真空泵核心零部件自主制造能力，降低外协依赖，优化产品成本结构，从而提升整体盈利水平。

公告显示，本项目将在沈阳、南通及上海三地实施。其中沈阳和南通主要围绕集成电路干式真空泵开展产业化扩产建设，通过新建加工中心厂房、新增及升级生产、装配、检测测试等相关设备和设施，进一步提升干式真空泵规模化生产能力；上海分公司主要围绕干式真空泵相关零部件加工制造环节，通过新增机械加工、检测、清洗及自动化等设备，提升核心零部件加工制造能力。项目建设期为3年，其中第一年投资33649万元，第二年投资7670.81万元，第三年投资993.67万元。

从投资主体来看，公司及上海分公司拟投资19144.70万元，子公司中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资23168.78万元。公司表示，伴随国内集成电路产业快速发展，半导体装备核心零部件国产化需求持续攀升，集成电路干式真空泵市场空间稳步扩容，本项目新增产能具有较为充足的市场空间。本次投资尚需提交股东会审议。

据同壁财经了解，中科仪所属半导体专用设备制造行业，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售并提供相关技术服务，产品覆盖集成电路刻蚀、CVD、封装测试等核心制程，是国内干式真空泵领域的龙头企业。2026年上半年公司实现营业收入6.23亿元，同比增长8.52%；归属于上市公司股东的净利润18.39亿元，同比增长1229.96%。