9月中旬，走进位于苏州高新区的苏州中科科仪技术发展有限公司（以下简称苏州科仪），一台台磁悬浮分子泵在展台上整齐排布。“小的这台分子泵转速可达一分钟九万转，大的可达一分钟三万转。”苏州科仪总经理助理佟鹏介绍。
磁悬浮分子泵被称为半导体设备的“心脏部件”，光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等芯片制造的核心工序，都要靠它制造真空环境才能完成。但以往，这项关键技术一直被国外所垄断。
如今，这个“心脏部件”已实现中国造。苏州科仪的母公司北京中科科仪股份有限公司（以下简称中科科仪），前身是1958年成立的中国科学院科学仪器厂，也是国家科技部重大仪器设备专项“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目的承担单位，研制出我国第一台具有完全自主知识产权的磁悬浮分子泵，一举打破国外长期的技术封锁与市场垄断，填补了国内高端真空获得设备领域的空白。
来源：苏州高新区发布
