近日，国家市场监督管理总局（国家标准化管理委员会）正式发布了2026年第33号中国国家标准公告。由苏磁科技牵头制定的 《半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》（GB/T 47926-2026）（ 下称磁悬浮泵） 顺利通过审批，予以发布，并将于2027年2月1日起正式实施！

2026年第33号中国国家标准公告发布

此次国标的发布，不仅填补了国内半导体磁悬浮泵领域的技术标准空白，更是苏磁科技深耕半导体核心装备领域、实现从“技术引领”到“标准制定”跨越式发展的重要里程碑！

全国标准信息公共服务平台已公布

关于《半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》

半导体制造工艺对洁净度有着近乎苛刻的要求。传统洁净泵往往面临着机械摩擦产生颗粒污染、轴承磨损导致寿命缩短等痛点。随着先进制程的推进，磁悬浮自轴承技术凭借无接触、无摩擦、无油润滑的特性，已成为高洁净环境的核心泵送解决方案。

苏磁科技作为该领域的先行者，本次牵头起草的磁悬浮泵国家推荐性标准，首次系统性地确立了磁悬浮泵的通用技术规范、性能指标、测试方法及检验规则。该标准的出台，将为国内半导体晶圆厂、设备厂选型应用提供权威依据，有力推动我国半导体供应链国产替代的健康发展与质量升级。

标准实施时间线

• 标准发布日： 2026年7月30日

• 标准实施日： 2027年2月1日

苏磁科技将以此次国标发布为契机，继续秉持技术创新的初心，依托深厚的磁悬浮技术储备，为国内外半导体客户提供更清洁、更高效、更可靠的磁悬浮泵产品。

苏磁科技自2017年成立以来，专注于磁悬浮核心技术和关键部件的研发与应用，致力于为半导体、生物制药、化工、能源等领域提供高洁净、低剪切的磁悬浮解决方案。公司自主研发的磁悬浮晶圆转台、磁悬浮泵等产品，不仅打破了国外技术垄断，实现了国产化替代，还在多项关键指标上达到国际领先水平。

苏磁科技，将以领先的磁悬浮核心技术为引擎，以服务国家战略与产业发展为己任，持续为高端制造业的转型升级注入“悬浮之力”，在金融活水的灌溉下，让中国智造的步伐更加稳健、轻盈！

SCP系列磁悬浮泵

Supermag®自主研发的磁悬浮泵，可用于高纯溶液，特殊介质的输送。转子悬浮在液体中工作，无机械摩擦、不产生颗粒、低剪切、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑，是半导体高端制程工艺升级过程中不可或缺的核心装备。

SCM系列磁悬浮晶圆转台

Supermag®磁悬浮晶圆转台，为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计，使用先进的磁悬浮轴承与电机集成控制技术，打破了国外多年的技术垄断，且部分参数远超过国外技术水平。转子悬浮在空中旋转，无摩擦、无动密封、不产生颗粒，可应用于氧化、扩散和退火、快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)、ALD、CVD(DPN)、单片晶圆清洗、MOCVD、蚀刻、旋涂等高端芯片的制程工艺中。

MSS系列磁悬浮搅拌

Supermag®磁悬浮桨叶完全避免了机械摩擦异物生成，几乎完全消除了剪切应力，既可以温和、洁净地长期运行，也可以快速实现多相介质的混合，对于高粘度液体，可精确操控磁悬浮桨叶的运动，实现优良的工艺效果。