同期，盖米参与湾芯展“产业创新成果交流活动”。GEMÜ PC50 iComLine 多通道阀凭借模块化、可灵活配置及紧凑集成等优势，荣获本届湾芯展“技术创新企业·核心零部件技术”纪念牌。
GEMÜ PC50 iComLine 的核心优势
GEMÜ PC50 iComLine 多通道阀凭借紧凑结构可轻松集成于中间夹层，节省洁净室空间。它采用“基础结构＋模块化扩展”的设计理念，可根据工艺需求灵活配置，产品具备以下特点：
高度灵活
在执行器数量、连接尺寸和通道上提供丰富选项，按需定制，适应多变工艺；
高效维护
模块化结构支持单个模块独立更换，简化流程，减少停机；
紧凑经济
标准化模块支持重复利用，节省洁净室空间，降低安装步骤与综合成本；
可靠品质
在符合 SEMI F57 标准的洁净室环境下组装测试，并提供多样化的密封选项，为工艺稳定性提供支持。
工艺应用：覆盖湿法清洗、化学蚀刻及CMP制程 （点击下方工艺段名称，查看对应解决方案详情） 基于上述特性，GEMÜ PC50 iComLine 已广泛适用于多种关键工艺段：在【湿法清洗】场景中，可灵活调节常温与高温去离子水混合，满足FOUP及EUV光罩盒清洗的温度敏感需求；在【化学蚀刻】场景中，可适配SAT/SST系统，稳定输送盐酸、稀释氨、HF混合液等高腐蚀介质；在【CMP浆料供应】场景中，紧凑的集成化设计可减少管路连接点、降低湍流与泄漏风险。 未来，盖米将继续围绕半导体核心零部件需求，持续完善超纯流体控制产品与解决方案，与产业链伙伴共同推动技术交流与应用落地。
