锡企成功填补国内半导体真空阀门领域空白。近日，无锡经开区企业无锡索奥精密阀门有限公司自主研发的半导体真空钟摆阀完成技术攻关，已交付国内头部客户并进入验证阶段，为半导体产业链国产化进程注入新动能。

据介绍，钟摆阀作为半导体真空阀门中的高端产品，主要应用于半导体芯片制造前端刻蚀与沉积工艺设备。“以往这类产品几乎全部依赖从瑞士、美国进口。”索奥阀门运营副总褚倩透露，这个“隐匿”于设备“心脏”的核心部件，国内此前鲜有企业涉足研发。在索奥阀门展厅，记者见到了这款特殊阀门，产品仅成人两个拳头大小，却直接影响设备加工出的晶圆品质。而晶圆作为芯片核心原材料之一，其质量对芯片性能至关重要。

褚倩解释，晶圆制造的工序多在刻蚀与沉积工艺设备内部的“工作间”中，过程中，设备会依据不同的工序，往其中充入不同的稀有气体，这便导致“工作间”内的压力常常变化。想要高质量的晶圆，压力稳定的制造环境至关重要。

如何让“变”成为“不变”？这便需要阀门根据实际情况快速反应、及时调节，达到精准“稳定全场”的效果。若想让阀门的调节更敏锐、更精准，则需要依靠软件算法为其打造精细化的控制系统。而算法如何编写，便是其中最大的难点。

为了尽快解决这个难题，索奥阀门选择与拥有十余年技术积淀的韩国阀门公司深度合作，将韩方成熟的阀门控制技术与中方团队快速落地能力高效嫁接。在此基础上，企业先完成了真空阀门中的蝶阀、插板阀研发并成功推向市场，如今攻克难度更高的钟摆阀，实现了国产市场“零”的突破。与此同时，索奥阀门也精心搭建了自己的中国研究团队，引进了5名资深行业专家。如今，企业蝶阀的控压精度已稳定在误差不超过0.1%的国际先进水平。目前，这些阀门的生产与研发，都在无锡经开区完成。

值得关注的是，在“产业园”变身“产业链”的太湖湾信息园，索奥阀门自去年11月入驻后，通过园区的牵线搭桥，与园内上下游企业建立了密切联系。在园区举办的半导体沙龙活动中，企业结识了同园的做微特电机的无锡奕帆微电子有限公司。“我们的产品正好需要配套电机。”褚倩回忆，双方经洽谈一拍即合。目前奕帆微的产品已通过索奥阀门送样验证，未来有望批量应用于系列阀门产品。此外，在园区“撮合”下，索奥还与园内一家下游的沉积设备企业搭上线，双方正探讨深度合作。

“园区几乎每两个月就会组织一次产业对接活动。”太湖湾信息园企业服务部相关负责人表示，通过日常走访掌握企业情况与诉求后，园区会针对性邀请投融资机构、产业链上下游企业参与对接。就在6月底，无锡经开区集成电路产业链企业家沙龙在太湖湾信息园举办，索奥、海浥等十余家集成电路装备企业，隐秀资本等投资机构及交通银行无锡分行等金融机构参会。

来源：政协无锡市委员会